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    NanoFocus三維形貌輪廓儀

    簡要描述:μsurf系列三維形貌輪廓儀采用多孔共聚焦技術,結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環境下,也能正常使用。

    • 產品型號:μsurf explorer
    • 廠商性質:其他
    • 更新時間:2022-01-05
    • 訪  問  量:4238

    詳細介紹

    品牌其他品牌價格區間面議
    產地類別進口

        NanoFocus μsurf系列三維形貌輪廓儀采用多孔共聚焦技術,結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優勢相當明顯。

    μsurf系列三維形貌輪廓儀應用 
        μsurf系列用來測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。 
    精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結構有要求的零部件,比如發動機汽缸、刀口等; 

        生命科學:測量stents支架上鍍層厚度等 
        微電子機械系統:微型器件的檢測,醫藥工程中組織結構的檢測,如基因芯片等 
        半導體:檢測微型電子系統,封裝及輔助產品結構設計 
        太陽能:太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等 
        紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量 
        LED:用于藍寶石襯底的測量,抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌 

    μsurf系列技術參數 

        LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
        測量時間:2~10秒 
        測量原理:非接觸、共聚焦 
        X/Y方向:平臺移動范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達驅動,X/Y方向分辨率:0.3μm 
        Z方向測量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm 
        物鏡:10X、20X、50X、100X(可選) 
        離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配) 
        計算機:高性能計算機控制系統,功能強大且全面的軟件,有拼接功能 
        配有專業工作臺:尺寸1550x800x750 mm (LxH) 
        工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA 
        材質:鋼鐵、橡膠、大理石 
        重量:約150KG+80KG 
        潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

     

     

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